北京爍科中科信大束流離子注入機交付

發布者:深銘易購 ????發布時間:2023-02-16????瀏覽量:173

【深銘易購】資訊:2月15日,北京爍科中科信本年度首臺大束流離子注入機在國內某知名集成電路產線move in。

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北京爍科中科信消息稱,本臺設備是大束流離子注入機工程化最新成果的集中體現,在原有設備性能的基礎上,優化了多項機臺核心參數,綜合WPH已實現與國際先進機臺對標。


1月9日,北京爍科中科信發布消息稱,開年新簽整機累計達11臺,合同總額突破2億元。


2022年8月,北京爍科中科信第4臺中束流離子注入機順利于某集成電路產線Move in;同年9月,北京爍科中科信中束流離子注入機順利交付。


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